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サービス・ソリューション

機能別リニューアル

空調方式の変更

クリーンルームへの要求スペックが高まる中でリニューアルを計画する場合、単にHEPAフィルターを増やしたり、より高性能フィルターに交換するだけでなく、既存の空調方式を変更することで、省エネルギー化やスペース確保を狙うことができます。
また、ミニエンバイロメント(局所超清浄化)を導入して全体のクリーンルームのクリーン度を下げることで、空調動力の低減や自動制御の簡素化、フィルターの削減などによる省エネ化も可能です。

既設クリーンルーム(AHU方式)

リニューアル後のクリーンルーム(FFU方式)

防災設備増強

クリーンルームやプレナムエリアにおいては、特殊ガス溶剤などによる火災リスクがあります。クリーンルームのリニューアルにあたっては、1次被害(火災)だけでなく消火による装置の破損や復旧の遅延などの2次被害にも配慮することが必要になります。
安藤ハザマが提案するイナージェン消火設備と超高感度煙センサーを組み合わせた防災設備は、作業員の安全を確保しながら効果的に消火を行うとともに、高価な製造装置を2次被害から守り、短時間でのライン復旧を可能にするシステムです。

イナージェン消火設備

超高感度煙センサー

省エネルギー手法

クリーンルームのランニングコストの低減に向け、さまざまな角度から省エネルギー・省コスト化のご提案をします。

手法 目標効果

冷水の大温度差化

冷水ポンプ動力 30%低減

フリークーリングシステムの導入

冷凍機負荷 25%低減

冷水1次ポンプの変流量化

冷水ポンプ動力 40%低減

冷却塔ファンのインバーター制御

ファン動力 25%低減、ファンベルトの磨耗低減

冷却塔水質管理レベルの見直し

補給水量 20%低減

外調機プレヒーターによる冷熱回収

冷熱回収 10%(冬期)

ドライコイル冷熱のブリードイン方式採用

冷水ポンプ動力 20%低減

CR内循環空気のローカルリターン化

ファン動力 10%低減

氷蓄熱システムの導入

動力費 70%低減

コージェネレーションシステムの導入

電力コスト 10%低減、供給の安定化

高効率モーターの採用

ファン効率 1〜2%アップ
*約3年で初期投資回収:24時間稼動の機器

VLFファンのブレードのコーティング

ファン効率 1%アップ

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