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サービス・ソリューション

施工管理

安藤ハザマは、重要なスケジュール管理、要求クリーン度の早期確保から要求性能の検証を通じて、早期にお客様の要求を満たすクリーンルームを建設します。

スケジュールコーディネート

生産施設の建設は、建物・ユーティリティの完成に加え、生産機器の搬入・取り付けが重要な位置を占めます。安藤ハザマでは、建物完成の工期はもちろんのこと、生産機器の搬入や取り付けのスケジュールもコーディネートします。マイルストーンを設定し、部分引渡しを行い経済工程を実現します。

生産工場棟工程表

構造:鉄筋コンクリート造 PC造 屋根鉄骨トラス 地上3階

用途:シリコンウエハー工場

規模:延べ床面積 25,700m2

半導体クリーンルームの基本工程表例

クリーン施工計画

クリーンルーム建設においてスケジュールと同様に大切なことは、要求クリーン度の確保です。安藤ハザマは建設に携わる作業員一人ひとりに対して、万全の教育体制で基礎工事の段階からクリーン施工計画を実施し、段階的に要求クリーン度を確保し、目標のクリーン度を達成します。

クリーンルーム建設の手順

複層する多種の工事をレベルに分け、各々のレベルを明確にし管理をします。

クリーン度
レベル1

建屋躯体工事(鉄骨・コンクリート工事)
雨仕舞工事(防水・雨仕舞工事)
クリーン度
レベル2(前半)
CR内装工事[1](防塵塗装・フリーアクセス床工事)
各種設備工事
クリーン度
レベル2(後半)
/レベル3
CR内装工事[2](天井フレーム工事・パネル間仕切工事)
各種設備工事
CR清掃(全面)

クリーン度
レベル4

ULPA・HEPAフィルター取付け
CR試運転調整 検証測定
引渡し

検証

建物の完成後、クリーン度、微振動制御、磁界電磁シールドなどを検証し、要求性能を確認した後、建物をお引渡しします。

クリーン度測定/シールド性能測定/歩行時鉛直振動の測定結果/磁界分布測定

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