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技術研究所

PZA微振動制御

※開発中、制御実験は検証済。

PZA微振動制御とは

ピエゾ素子を挟み込んだ駆動装置によりクリーンルームなどの微振動を制御する方法で、新築だけでなく、リニューアル、コンバージョンにも適用可能です。

こんな課題をお持ちのお客様に

  • スペースを有効に使い微振動を制御したい
  • 微振動制御のための間柱を立てるスペースがない
  • コンバージョン時に微振動制御を組み込みたい

特長

  • 優れた制御性能
    衝撃を受けた場合の振動を感知・対応するフィードバック理論と、センサーにより感知された振動に予め備えるフィードフォワード理論を組み合わせる方式を採用しているので、定常振動に加え、突発振動にも優れた制御性能を発揮します。
  • 最小限の設置場所
    駆動装置は縦横2.5cm、高さ2cm程度なので設置場所を取りません。
  • 広い適用範囲
    新築時だけでなくリニューアルやコンバージョン時にも適用できます。

PZA
(ピエゾアクチュエーター)

 

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