微振動対策・制御
クリーンルームの要求スペックや付帯条件、また建物内・外の振動条件を考慮の上、微振動解析を行います。
微細加工機器や検査装置に要求される人体無感領域のスペックを踏まえ、発生源・構造体・受信点での振動低減対策の効果を実施設計に反映し、完成後にはその効果を検証します。
クリーンルーム床の振動予測シミュレーション
微振動対策には、大きく分けてパッシブ除振システムとアクティブ除振システムがあります。パッシブ除振システムは、床から伝わる振動をスプリングや空気ばねなどにより吸収し、ばね体の固有振動数に応じて床面からの振動を制御する低コストの除振システムです。アクティブ除振システムは、床面からの振動だけでなく機器自体から発生する微小振動などもアクチュエーターにより機械的に除去する除振システムです。
また、パッシブ除振とアクティブ除振を組み合わせたパッシブ・アクティブ除振もあります。