機能別リニューアル
空調方式の変更
クリーンルームへの要求スペックが高まる中でリニューアルを計画する場合、単にHEPAフィルターを増やしたり、より高性能フィルターに交換するだけでなく、既存の空調方式を変更することで、省エネルギー化やスペース確保を狙うことができます。
また、ミニエンバイロメント（局所超清浄化）を導入して全体のクリーンルームのクリーン度を下げることで、空調動力の低減や自動制御の簡素化、フィルターの削減などによる省エネ化も可能です。
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既設クリーンルーム（AHU方式） |
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リニューアル後のクリーンルーム（FFU方式） |
防災設備増強
クリーンルームやプレナムエリアにおいては、特殊ガス溶剤などによる火災リスクがあります。クリーンルームのリニューアルにあたっては、1次被害（火災）だけでなく消火による装置の破損や復旧の遅延などの2次被害にも配慮することが必要になります。
安藤ハザマが提案するイナージェン消火設備と超高感度煙センサーを組み合わせた防災設備は、作業員の安全を確保しながら効果的に消火を行うとともに、高価な製造装置を2次被害から守り、短時間でのライン復旧を可能にするシステムです。
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イナージェン消火設備 |
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超高感度煙センサー |
省エネルギー手法
クリーンルームのランニングコストの低減に向け、さまざまな角度から省エネルギー・省コスト化のご提案をします。
| 手法 | 目標効果 |
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冷水の大温度差化 |
冷水ポンプ動力 30%低減 |
フリークーリングシステムの導入 |
冷凍機負荷 25%低減 |
冷水1次ポンプの変流量化 |
冷水ポンプ動力 40%低減 |
冷却塔ファンのインバーター制御 |
ファン動力 25%低減、ファンベルトの磨耗低減 |
冷却塔水質管理レベルの見直し |
補給水量 20%低減 |
外調機プレヒーターによる冷熱回収 |
冷熱回収 10%（冬期） |
ドライコイル冷熱のブリードイン方式採用 |
冷水ポンプ動力 20%低減 |
CR内循環空気のローカルリターン化 |
ファン動力 10%低減 |
氷蓄熱システムの導入 |
動力費 70%低減 |
コージェネレーションシステムの導入 |
電力コスト 10%低減、供給の安定化 |
高効率モーターの採用 |
ファン効率 1〜2%アップ |
VLFファンのブレードのコーティング |
ファン効率 1%アップ |
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