ユーティリティ施設計画
- 特殊ガス（材料）
- プラントガス
- ケミカル
- 生産動力
- 排水・排ガス
- 純水
- 生産冷却水
- 真空・圧縮空気（クリーンドライエアー）
ユーティリティの配置
- 施設の位置
- サブメイン管、サブダクトの配置計画
- メイン管、メインダクト類の配置計画
- 将来の拡張計画
ユーティリティの省エネ
- 供給動力の低減……インバーター、低圧損
- 蓄熱の利用……ピークカット、氷蓄熱
- 排熱の利用、回収……外気処理
- 外気処理・排気量の最適化……室圧制御
フックアップ
- 室内環境計画からフックアップ技術に至るトータル計画・性能保証
全体一括管理による生産ラインの機密保持